半導体製造工程などで使用される特殊ガスシリンダの容器元弁に取り付け、ガス漏洩などの緊急時に遮断する装置です。
| 駆動方式 | ベーン形ロータリーアクチエータ |
|---|---|
| 弁操作角度 | 約275°（アクチエータ駆動角度337°） |
| 操作方法 | 弁閉はエアー信号による自動操作、弁開はチャックによる手動操作 |
| 弁閉用圧力 | 0.4MPaの乾燥エアーまたはN2ガス |
| 設置場所 | 屋内非防爆区域 マイクロスイッチ（接点）部はシリンダキャピタルの外部（非防爆区域）となるよう取り付けが必要。ただし、アクチュエータ本体はシリンダキャピタル内（防爆区域）に設置が可能。 |
|---|---|
| 周囲温度 | 5～40℃ |
| 相対湿度 | 50~90% |
駆動エアーが減圧弁を経由してアクチエータの配管接続口「CLOSE」（弁閉ポート）より、ロータリアクチエータ内部に流入すると、ベーン形ロータリアクチエータが回転し、内部のギア列を介して出力軸（スプライン軸）が回転。これにより、チャックが弁閉方向に回転し、シリンダ元弁のハンドルを回し弁閉します。
チャックのホルダ部外周を手でつかみ、シリンダ元弁のハンドルごと、弁開方向にゆっくり手動で回し弁開します。この時、アクチエータも一緒に回転し、全開（開度表示100％）位置まで弁開操作が可能。
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