流量計SUSシリーズ 
(超音波渦流量計)

概要・特長

超音波により渦信号を高精度に検出し、積算流量や瞬時流量の現場表示を行ったり、アナログ出力、パルス出力を行います。

主な仕様

口径 1、1½、2、3、4Bの5機種
適用流体 液体(但しSUS316を侵す液体は不可)
精度 ±1.0%RD(±0.5%RD)
計測範囲 0.6~200m³/h
流体温度 -20~160℃(防水型)
-20~120℃(防爆型)
流体圧力 5.0MPa
接続方法 ウェハー形、フランジ形

計測原理

超音波渦流量計は、流れの中に置かれた渦発生柱の下流に規則的に発生するカルマン渦を非接液の超音波センサで検出する液体専用の流量計です。

適用事例

薬液の取込・調合管理

《主な用途》

  • 充填機、医療機器
  • 食品機械、半導体製造装置 etc.

半導体製造装置

  • 薬液や超純水の使用量管理
  • 流量制御(温度調節)

 

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