接液部を耐食性に優れたPFA樹脂で一体成形しているため、配管接続部以外にシール部やポケット部がなく、薬液、腐食性流体および超純水などの計測に適しています。
| 口径 | 3/8、1/2、3/4、1Bの4機種 |
|---|---|
| 適用流体 | 薬液、腐食性流体、超純水など |
| 精度 | ±3%FS、±3%RD |
| 計測範囲 | 0.3～150L/min |
| 流体温度 | 0~100°C |
| 流体圧力 | 0.5～1.0MPa |
接液部を耐食性に優れたPEEK樹脂で一体成形し、完全ポケットレス構造であるため、超純水や薬液などの計測に適しています。
| 口径 | 1/2、1Bの2機種 |
|---|---|
| 適用流体 | 薬液、腐食性流体、超純水など |
| 精度 | ±3%RD（±1%RDも可） |
| 計測範囲 | 1.7～220L/min |
| 流体温度 | 0~140°C |
| 流体圧力 | 0.39～0.98MPa |
| 接続方法 | 0ねじ込み、ウェハー |
接液部を耐食性に優れたガラスを含んでいないリニアPPS樹脂で一体成形しているため、配管接続部以外にシール部やポケット部がなく、流体の汚れをきらう純水や薬液などの計測に適しています。
| 口径 | 1/2、3/4Bの2機種 |
|---|---|
| 適用流体 | 水、純水、PPS樹脂を侵食しない薬液など |
| 精度 | ±3%FS |
| 計測範囲 | 3.0～120L/min（水の場合） |
| 流体温度 | 0~50°C |
| 流体圧力 | 1.0Mpa |
| 接続方法 | ユニオン接手（TS式） |
薬液や溶液、材料の「気泡」の発生を流量計が検知します。
「気泡」が入ることによる装置の障害発生や品質ムラ発生による歩留まり低下のリスクを抑え、お客様の装置の健全性確保、製造工程の品質向上に役立ちます。
超音波により渦信号を高精度に検出し、積算流量や瞬時流量の現場表示を行ったり、アナログ出力、パルス出力を行います。
| 口径 | 1、1½、2、3、4Bの5機種 |
|---|---|
| 適用流体 | 液体（但しSUS316を侵す液体は不可） |
| 精度 | ±1.0%RD（±0.5%RD） |
| 計測範囲 | 0.6～200m³/h |
| 流体温度 | -20～160℃（防水型） -20～120℃（防爆型） |
| 流体圧力 | 5.0MPa |
| 接続方法 | ウェハー形、フランジ形 |
超音波渦流量計は、流れの中に置かれた渦発生柱の下流に規則的に発生するカルマン渦を非接液の超音波センサで検出する液体専用の流量計です。
《主な用途》
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